1. 设备名称：氦质谱检漏仪；
2. 设备型号：HTGE010；
3. 设备技术参数：
3.1. 最小可检漏率：5x10-13Pa.m3/s；
3.2. 漏率显示范围：1x10-3—1x10-13Pa.m3/s；
3.3. 进气口最高压强：1500Pa；
3.4. 启动时间：≤3min；
3.5. 响应时间：<1s；
3.6. 粗抽泵抽速：4L/s；
3.7. 重量：80kg；
4. 使用性能：
该检漏仪具有高灵敏度，最小可检漏率5x10-13Pa.m3/s，支持正压、负压检漏。可自动跟踪背景，提供快速可靠的检漏结果，优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应。支持氮气破空，快速降低背景，采用进口的核心部件和工艺确保检漏仪长期可靠，采用双铱丝离子源，可自动切换，具有超快速保护功能，有效防止大气冲入。