2. 设备型号:HTLN-CZK-350L-II;
3. 设备技术参数:
3.1 前级泵(进口德国莱宝或国产)
a) 电压:220V,使用功率≤0.9KW
b) 名义抽速:31.4m3/h(8.7L/s);
c) 连接口:KF25;
3.2 分子泵(进口德国莱宝或国产)
a) 与机械泵配套使用整体电压:220V,单独分子泵电压:24/48±10VDC,使用功率约0.2Kw;
b) 抽速:350L/s;
c) 极限压强≤5x10-5Pa;
d) 额定转速:60000rpm;
e) 冷却型式:风冷;
3.3 系统漏率≤1x10-9Pam3/s
3.4 真空测量范围:1x10-6Pa -1x105Pa
3.5 工位数:单工位
3.6 机械泵部分和分子泵部分采用分体式设计
3.7 分子泵具有自动启停保护功能,当系统真空度达到设定值(可在10Pa以下任意设定)分子泵启动,否则无法启动。